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A3-SR-系列反射式宽广谱膜厚测量仪

  • 所属分类:在线膜厚检测系统
  • 浏览次数:2092次
  • 发布日期:2023/10/17 15:11:10
  • 概述
A3-SR 系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO 等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED 镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。A3-SR 可用于测量2纳米到3000 微米的膜厚,测量精度达到0.1纳米。在折射率未知的情况下,A3-SR还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外,A3-SR还可用于正确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。
A3-SR 进行测量简单可信赖,实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys软件进行手动测量,每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys软件还拥有近千种材料的材料数据库,同时可对折射率进行拟合。
同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并
回溯检查测量结果。

目标应用
半导体镀膜,光刻胶
玻璃减反膜测量
蓝宝石镀膜,光刻胶
ITO 玻璃
太阳能镀膜玻璃
各种衬底上的各种膜厚
卷对卷柔性涂布
颜色测量
车灯镀膜厚度
阳极氧化厚度

其他需要测量膜厚的场合









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