我公司自主研发的显微膜厚测量仪进入主流半导体Fab并通过验证, 可测量20nm-...

作者：　来源：　日期：2017/5/8　人气：2885

我公司自主研发的显微膜厚测量仪进入主流半导体Fab并通过验证, 可测量20nm-100um膜厚,光斑大小20um